蝕刻、沉積和晶圓檢測設(shè)備中的Zerodur玻璃

Zerodur是一種鋰鋁硅酸鹽玻璃陶瓷，由德國肖特生產(chǎn)，熱膨脹系數(shù)跟于康寧UlE玻璃相當(dāng)，（在0~50°C范圍內(nèi)約為0±0.007×10^−6/K）在數(shù)個領(lǐng)域當(dāng)中均有出色的表現(xiàn)，而今天我們將介紹Zerodur玻璃在光刻機、蝕刻、沉積和晶圓檢測設(shè)備中的出色應(yīng)用

蝕刻設(shè)備中的應(yīng)用

• 大口徑的、高平整度的真空窗口、保證等離子體蝕刻過程中的穩(wěn)定性
• 晶圓支撐/載臺，利用Zerodur的低熱膨脹特性可抵制溫度梯度發(fā)生的翹曲
• 光學(xué)準(zhǔn)直鏡，通常使用于深刻蝕（DRIE）中

沉積設(shè)備中的應(yīng)用

• 光學(xué)窗口/視口，在高溫高真空下，能保持不變形和準(zhǔn)確性
• 基板加熱臺，使用Zerodur制作的加熱臺能均勻傳熱，幫助薄膜沉積獲得一致厚度
• 反射偏轉(zhuǎn)鏡，用于激光輔助沉積

晶圓檢測設(shè)備中的應(yīng)用

• 干涉儀參考平板
• 光學(xué)平臺承載鏡頭和傳感器的結(jié)構(gòu)件
• 激光測距與掃描裝置組件

Zerodur制造商選擇

我們是一家高品質(zhì)技術(shù)陶瓷加工制造商，憑借專業(yè)的技術(shù)和先進的設(shè)備，提供卓越的服務(wù)。我們提供各種高精度Zerodur玻璃零件的定制加工，包括異形、圓形和曲面，并具備五軸精密加工能力。

• 異形結(jié)構(gòu)件：加工精度達0.01毫米
• 管材和棒材：圓柱度達0.001毫米，尺寸精度達0.001毫米
• 平面：結(jié)構(gòu)件平面度精度高達0.001毫米，光學(xué)產(chǎn)品平面度精度高達1/20λ
• 微孔結(jié)構(gòu)：最小直徑0.1毫米，精度達0.01毫米
• 粗糙度：結(jié)構(gòu)件Ra0.01微米，光學(xué)產(chǎn)品Ra0.002微米