精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13712574098氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13712574098
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 氧化鋁對(duì)準(zhǔn)環(huán)/支撐環(huán) |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化鋁陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶(hù)需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀！ |
|
立即咨詢(xún)
0769-82913501 |
|
在半導(dǎo)體制造中,氧化鋁對(duì)準(zhǔn)環(huán)/支撐環(huán)廣泛用于等離子蝕刻、薄膜沉積、晶圓清洗等工藝。其作用主要包括
1. 晶圓對(duì)準(zhǔn)/定位環(huán)
作用：幫助晶圓在蝕刻、沉積或清洗等過(guò)程中保持精準(zhǔn)位置；
特征對(duì)應(yīng)：外圍的等距凹槽/突齒可能與腔體或設(shè)備中的其他結(jié)構(gòu)“卡扣配合”，從而實(shí)現(xiàn)快速定位；
氧化鋁陶瓷可耐高溫、耐腐蝕，適合等離子體環(huán)境。
2. 晶圓傳輸夾具或支撐環(huán)
作用：作為晶圓托盤(pán)上的支撐或緩沖結(jié)構(gòu)，用于穩(wěn)定承載晶圓；
中間大孔適合通晶圓，外圍結(jié)構(gòu)用于卡住或限制移動(dòng)。
3. 等離子蝕刻/沉積反應(yīng)腔中的消耗件（Consumable Component）
作用：安裝在反應(yīng)腔內(nèi)，接觸或靠近等離子體，用于提供結(jié)構(gòu)支撐或電氣隔離；
開(kāi)口/缺口：用于讓氣體通道、電極或探針穿過(guò)的設(shè)計(jì)，屬于定制功能結(jié)構(gòu)。
.jpg)
陶瓷吸片從原材料到成品需要運(yùn)用很多工藝，工序繁多、技術(shù)難點(diǎn)大。鈞杰陶瓷在吸片精密加工這一領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗(yàn)，我們從陶瓷燒結(jié)到精密加工生產(chǎn)等工序全程嚴(yán)密把控，確保吸片的品質(zhì)過(guò)硬。
聯(lián)系電話(huà)：13712574098
地址：東莞市松山湖園區(qū)怡樂(lè)路1號(hào)2棟306室
E-mail：xwj@jundro.com
掃一掃與廠家溝通
