精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產加工企業(yè)
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13712574098氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產加工企業(yè)
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| 產品名稱 | 等離子刻蝕設備腔體 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 微晶玻璃 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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0769-82913501 |
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在先進半導體制造中，等離子刻蝕設備對結構材料的熱穩(wěn)定性、尺寸精度和表面質量提出了極高要求
而使用微晶玻璃作為等離子刻蝕腔體可以大幅提升設備的熱穩(wěn)定性和刻蝕均勻性。微晶玻璃（Zerodur）具備極低的熱膨脹系數(shù)，可達（CTE ≈ 0 ± 0.02 × 10??/K）能夠保證腔體在高頻加熱或冷卻過程中的尺寸穩(wěn)定性，同時微晶玻璃可達到光學級的表面粗糙度，有助于提升等離子體均勻性
聯(lián)系電話：13712574098
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