陶瓷蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體刻蝕工藝的關(guān)鍵部件。當(dāng)選擇鋁合金作為刻蝕腔體材料時，很容易造成金屬顆粒污染。因此，高純度（99.5% 以上）氧化鋁陶瓷被用于制造陶瓷蝕刻環(huán)，作為等離子刻蝕設(shè)備的腔體材料。 高純氧化鋁99.7%-99.9