前面給大家詳細(xì)講解過(guò)晶圓載臺(tái)、陶瓷聚焦環(huán)等腔體下部核心配件,今天小編繼續(xù)帶大家認(rèn)識(shí)半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中,位于腔體頂部、決定整片晶圓鍍膜均勻性與工藝穩(wěn)定性的核心上部關(guān)鍵件——陶瓷氣體噴淋盤(pán)(Showerhead,也叫勻
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