大尺寸氣浮碳化硅陶瓷導(dǎo)軌是什么？ 大尺寸氣浮碳化硅（SiC）陶瓷導(dǎo)軌是用高剛性、高硬度的硅化物陶瓷制成的線性導(dǎo)軌或平面基座，配合氣體靜壓/氣體動(dòng)壓（氣?。┹S承工作，形成微米級(jí)甚至亞微米的無接觸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，常用于超高精度運(yùn)動(dòng)與定位系統(tǒng)（如光刻、檢測(cè)與精密量測(cè)等）