光刻中的晶圓步進(jìn)機(jī) 晶圓步進(jìn)機(jī)是把掩模圖案投射到涂有光刻膠的硅晶圓上的關(guān)鍵設(shè)備。它決定了圖形能到底有多小、層與層之間能否精確對(duì)齊。除了光學(xué)與運(yùn)動(dòng)控制外，環(huán)境與材料的穩(wěn)定性對(duì)最終圖形同樣關(guān)鍵   環(huán)境控制：濕度、溫度、氣壓都很重要 濕度：某