在超低膨脹材料領(lǐng)域,德國(guó)肖特公司的Zerodur®微晶玻璃曾長(zhǎng)期被視為“靜態(tài)精密”的黃金標(biāo)準(zhǔn)。然而,近年來(lái)在半導(dǎo)體光刻、航空航天、高端光學(xué)等動(dòng)態(tài)、熱沖擊或腐蝕性環(huán)境中,堇青石陶瓷正在迅速崛起,成為
在超低膨脹材料領(lǐng)域,德國(guó)肖特公司的Zerodur®微晶玻璃曾長(zhǎng)期被視為“靜態(tài)精密”的黃金標(biāo)準(zhǔn)。然而,近年來(lái)在半導(dǎo)體光刻、航空航天、高端光學(xué)等動(dòng)態(tài)、熱沖擊或腐蝕性環(huán)境中,堇青石陶瓷正在迅速崛起,成為