氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產加工企業(yè)
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1. 極端的熱學性能 優(yōu)異的熱導率：碳化硅陶瓷的熱導率非常高（約120-270 W/m·K，是氧化鋁陶瓷的5-10倍）。這意味著它能迅速、均勻地傳遞熱量。 半導體應用體現：在靜電吸盤（ESC）中，高導熱性確保晶圓背
Tag : 靜電吸盤,噴淋頭,腔室內襯/穹頂,加熱器,晶圓承載環(huán),傳輸臂末端執(zhí)行器
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