氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌是以高純度氧化鋁（Al?O?）陶瓷為材料制造的精密直線運(yùn)動導(dǎo)向部件，主要用于需要高精度、低摩擦和高穩(wěn)定性的機(jī)械系統(tǒng)。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，它是一類重要的結(jié)構(gòu)部件，可為晶圓或檢測平臺提供穩(wěn)定、潔凈的直線運(yùn)動。 一、材料與基本特性